반도체 세정용 나노필터… 시노펙스, 첫 국산화 성공

미국·일본 등 해외에서 전량 수입하던 반도체 세정 공정에 쓰이는 나노미터(㎚)급 필터의 국산화가 처음 이뤄졌다.

17일 산업통상자원부에 따르면, 국내 필터 생산 업체 시노펙스는 17일 경기도 화성 공장에서 신규 생산 라인을 준공해 나노급 필터 양산에 들어갔다. 이 필터는 반도체 세정용 화학물질에서 초미세 오염 물질을 제거하는 핵심 부품이다. 필터 성능이 반도체 수율(收率)에 직접적인 영향을 미친다.

시노펙스가 생산하는 나노급 필터는 국내 세정 장비 제조 업체를 거쳐 삼성전자와 SK하이닉스 등에 공급될 예정이다. 산업부는 시노펙스의 생산 라인 준공으로 연간 8000개 수준인 국내 나노급 필터 수요를 초과 충족하는 1만개(약 1200억원) 규모의 생산능력을 확보했다고 설명했다.