지난 15일(현지 시각) 독일 남부 슈투트가르트 인근 디칭겐에 있는 레이저 기업 트럼프(TRUMPF)의 클린룸. 사람 키만 한 금속 프레임 안에 형형색색의 전선들이 혈관처럼 복잡하게 얽혔다. 현재 회로 선폭 5나노 이하 첨단 반도체 제조에 필수적인 네덜란드 ASML의 극자외선(EUV) 노광 장비용 레이저 모듈이다. 엔지니어들은 장비의 거울 각도를 조정하고, 컴퓨터 화면으로 레이저 위치를 확인했다. 이 모듈에서 생성된 레이저는 4단계를 거쳐 30KW(킬로와트)의 초고출력으로 증폭되고, 노광 장비 안에서 미세한 주석 방울을 때려 EUV...
박지민 기자