이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사에서 피터 베닝크 CEO(왼쪽), 마틴 반 덴 브링크 CTO와 기념 촬영하고 있다. 2022.6.15/삼성전자

네덜란드의 반도체 장비 기업 ASML이 오는 2025년까지 약 2400억원을 투자해 경기도 화성에 대규모 사업장을 짓기로 했다. 한국을 찾은 ASML의 페터르 베닝크 CEO(최고경영자)는 15일 서울 강남구 인터컨티넨탈 코엑스에서 열린 기자간담회에서 “2024년 말 완공 예정인 화성 캠퍼스(사업장)는 1만6000㎡ 부지에 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광장비 관련 부품 재(再)제조센터와 첨단 기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등이 들어설 것”이라며 “관련 인력도 1400명을 점진적으로 추가 채용해 현재 2000명 규모인 한국 지사 규모를 10년 내 2배 수준으로 늘리겠다”고 밝혔다.

ASML은 초미세 반도체 공정에 필수인 EUV 노광 장비를 독점 제조하는 회사로, 재제조센터는 ASML 장비 부품을 현지에서 수리·교체가 가능하도록 해주는 일종의 보수센터다. 베닝크 CEO는 “재제조센터가 들어서면 한국 현지에서 부품을 바로 조달할 수 있는 이점이 생겨 고객사와 긴밀하게 협업할 수 있다”고 말했다. 핵심 고객인 삼성전자 입장에서도 핵심 설비 유지·보수에 훨씬 유리해진다는 의미다. 베닝크 CEO는 “장기적으로 반도체 산업은 향후 10년간 연평균 9% 성장을 달성할 것”이라며 “2024년 차세대 EUV 노광 장비를 출시할 예정이며, 가격은 3억유로(약 4100억원)가 될 것”이라고 말했다.