|
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ º»»ç ¹ÝµµÃ¼ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ ÁøÇàµÈ Á¶ÀνĿ¡¼ ÁÖ¼º°ú ½Ì°¡Æ÷¸£ ±¹¸³´ë ½Ç¸®ÄÜ ³ª³ë¼ÒÀÚ ¿¬±¸½Ç Ã¥ÀÓÀÚ Á¶º´Áø ±³¼ö´Â ÃÊÁø°ø ¼±ÅÃÀû ¿¡ÇÇÅØ¼ÈÃþ ¼ºÀåÀåÄ¡(UHV SEG / Ultra Hign Vacuum Selective Epitaxial Growth)¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë °í¼º´É ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ±â¼úÀÇ °øµ¿°³¹ß¿¡ ÇÕÀÇ ÇÏ¿´´Ù.
½Ì°¡Æ÷¸£ ±¹¸³´ë ½Ç¸®ÄÜ ³ª³ë¼ÒÀÚ ¿¬±¸½ÇÀº 2004³âµµ¿¡ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ ±â¼úºÐ¾ß¿¡ ÃÖ°íÀÇ ±ÇÀ§¸¦ °®°í ÀÖ´Â ÃÖ°íÇÐȸÀÎ IEDM ¹× ÇмúÁö IEEE Electron Device Letters¿¡ ÃÖ´Ù ¿¬±¸³í¹®À» ¹ßÇ¥ÇÑ ´ëÇÐ ¿¬±¸¼Ò·Î¼ ±× ¿¬±¸ ´É·ÂÀ» Àü¼¼°èÀûÀ¸·Î ³Î¸® ÀÎÁ¤ ¹ÞÀº ¹Ù ÀÖ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÇ Å©±â°¡ 30nmÀÌÇÏ·Î ÁÙ¾îµé °æ¿ì, ±âÁ¸ÀÇ ¼ÒÀÚ Á¦Á¶ ±â¼ú¿¡¼´Â ÀüÀÚÀÇ À̵¿¼ÓµµÀÇ Æ÷ÈÇö»óÀ¸·Î ÀÎÇÏ¿© ¼ÒÀÚÀÇ Æ¯¼ºÀÌ ´õ ÀÌ»ó °³¼±µÇÁö ¾Ê´Â ÇѰ迡 µµ´ÞÇÏ°Ô µÇ´Â ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýµÇ´Âµ¥ ÀÌ¿Í °°Àº ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇÏ¿© SEG±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ÀüÀÚÀÇ À̵¿¼Óµµ¸¦ Çâ»ó½ÃŰ´Â ±â¼ú·Î ÃÖ±Ù¿¡ ¼¼°è °¢±¹ÀÇ ºñ¸Þ¸ð¸®Ä¨(Logic Device)±â¼ú ¼±µµ ¾÷ü µî¿¡¼ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ¿¬±¸µÇ°í ÀÖ´Ù.
À̹ø¿¡ ü°áÇÑ °øµ¿±â¼ú °³¹ßÀº ³ª³ë±Þ ¼ÒÀÚ(Nano Scale Transistor)¿¡¼ÀÇ ÀüÀÚÀÇ À̵¿¼Óµµ¸¦ 300%ÀÌ»ó Çâ»ó±âÅ´À¸·Î½á 30nmÀÌÇÏÀÇ ¼ÒÀÚ¿¡¼ ÇѰ迡 µµ´ÞÇÑ ÇöÀçÀÇ ±â¹Ý±â¼úÀ» ±Øº¹ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Çõ½ÅÀûÀÎ ±â¼úÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù°í ȸ»çÃøÀº ¹àÇû´Ù.
ÁÖ¼ºÀº Áõ°¡µÇ°í ÀÖ´Â Â÷¼¼´ë ÀåÄ¡ ½ÃÀå ¼±Á¡À» À§ÇÏ¿© ÀüÀÓÁ÷¿øÀÇ 60%¿¡ ÇØ´çµÇ´Â ÀÚü ¿¬±¸ÀηÂÀÌ ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ÁÖ·ÂÇϰí ÀÖÀ½Àº ¹°·Ð ±¹³»¿Ü ´ëÇÐ ¿¬±¸¼Ò¿ÍÀÇ °øµ¿°³¹ß µîÀ» ÅëÇÑ Â÷¼¼´ë ÀåÄ¡ °³¹ß ¹× ¸¶ÄÉÆÃ È°µ¿À» Àû±ØÀûÀ¸·Î ÁøÇàÇϰí ÀÖ´Ù.
- copyright (c) 2004 Newswire All rights reserved -









